二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9384737 待售

「TEL/TOKYO ELECTRON MARK V」光刻設備是一種先進的光刻系統，主要用於微電子制造。該裝置旨在通過使用沈積和蝕刻技術在半導體晶片上產生模式。TEL Mark V機包含了旨在提高微電子元件處理性能的全方位功能。該工具由三個主要組件組成-基板處理單元（SPU）、分辨率和曝光組件（REC）以及主要控制資產（PCS）。SPU設計用於處理多種材料,包括光刻膠、光掩模和其他薄膜材料。此組件的設計目的是確保光刻步驟能夠精確控制過程的各個方面,包括溫度、壓力和濕度。REC組件通過調整過程的分辨率來促進光刻模式。它還調整暴露在基板上的模式。PCS組件是TOKYO ELECTRON MARK-V設備內所有設備的主要自動控制模型。它通過監控每個組件的性能來確保成百上千個基板之間的一致性。MARK-V系統還包含幾個專門的工具，用於監測和分析過程中收集的數據。這包括校準控制、基板映射、峰值功率映射和參數成像。這種數據收集有助於確保在制造過程中保持質量和性能。最後，TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V提供了一個在嘗試製造微電子元件時為了精度和可靠性而設計的單元。它可以測量低至納米距離特征的精度,並準確記錄曝光時間以獲得最佳性能。先進子系統的結合保證了微電子制造過程的可重復性和可靠性。