二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9396047 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是一款為高生產率和優越的工藝控制而設計的光刻膠設備。它提供了廣泛的功能,同時允許快速、高效和精確的操作。該系統利用光譜選擇性成像技術，在一次曝光中提供具有高密度模式元素的高分辨率圖像。該單元由抗蝕劑曝光機、抗蝕劑加工工具、晶圓轉移資產和晶圓級截面組成。抗蝕劑曝光模型包括可移動數字成像板、多通道曝光源、快門設備和精密的控制系統。抗蝕劑處理單元提供高分辨率開發和先進的紫外線成像功能。晶圓轉換機使晶圓能夠從一個工作站快速傳輸到另一個工作站。晶片級部分設有精密級，以確保在整個處理周期中準確、可重復放置晶片。TEL Mark V提供卓越的圖像分辨率和曝光源靈活性,以及與各種晶圓類型的高級對齊功能。該工具具有自動晶片對準功能,可消除手動對準,並確保對曝光面罩進行精確註冊。曝光資產也有多種不同的曝光源，包括激光和光源。此外，該模型還具有先進的控制能力，能夠高效制造各種半導體集成電路。該設備除了具有高精度功能外,還具有復雜的故障感測功能,可以檢測和診斷可能影響處理性能的任何故障或不規則性。TOKYO ELECTRON MARK-V還配備了數據記錄系統，用於監控和存儲溫度、壓力以及其他數據，用於質量控制和分析。該單元還可以與各種外圍設備連接，如模式發電機和處理系統。總體而言，Mark V在生產復雜的半導體和光敏產品方面提供了卓越的性能和可靠性。通過利用其先進的成像和控制功能,該機器實現了卓越的過程控制,並產生了出色的生產效率。該工具旨在確保光刻膠工藝的所有部分都得到準確有效的處理，大大減少了與芯片制造和設計相關的時間和成本。
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