二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V8 #293643487 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V8光刻設備是TEL設計的最先進的光刻系統。該裝置設計和制造用於矽片的半導體制造過程。該機器采用專有的自動化過程控制軟件，為用戶提供廣泛的功能以及對過程參數的密切監控。這得益於可以遠程訪問的內置數據記錄器。這允許用戶檢查質量並確保從晶圓到晶圓的過程一致性。該工具利用了最先進的200毫米相機資產,提供了高達16英寸的大型成像場。這臺相機拍攝每個曝光晶片的極高分辨率照片，詳細檢查曝光區域。該模型還包括一個綜合激光測量設備，可以在光刻工藝之前、之中和之後進行測量。TEL Mark V8支持多種不同的光刻膠材料，包括DUV光刻膠、I-Line光刻膠和248 nm深紫外線（DUV）光刻膠。這些材料使用高精度的自動分配系統應用於晶片。一旦應用了所需的材料，該單元就可以配置為執行各種不同的光刻工藝，包括接觸和投影印刷、軟硬烘烤和曝光後烘烤。此外，該機還能提供良好的空氣環境控制，減少顆粒汙染，並提供超低振動環境。這是使用高端空氣過濾工具和先進的真空控制資產實現的。這種模式需要設備齊全的設施和知識淵博的工作人員才能正常運作，但其設計目的是通過自動化日常功能來減少時間和勞動力。設備每小時最多可處理200個晶圓，允許進行大容量應用。TOKYO ELECTRON MARK V8是一款功能強大、用途廣泛的光刻膠系統，提供了電路板和微電子元件大批量生產所必需的特性和功能。