二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V8 #293643489 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V8是為了先進的製造過程而設計的光刻膠設備。它使用戶能夠將光刻膠直接沈積到晶片或基板上，從而確保均勻、高性能的塗層。這種均勻性增加了光致抗蝕劑在加工過程中的覆蓋率，提高了產量。光刻膠系統利用TEL專有技術，產生超低調制、均勻的光刻膠塗層。TEL Mark V8機型以TOKYO ELECTRON-precise蝕刻型材為特色，允許精確控制底切深度。此蝕刻輪廓技術非常適合需要超光滑曲面的應用,包括MEMS和ULSI技術。該單元能有效控制沈積在晶圓或基板上的光刻膠塗層厚度。這種特性對於需要均勻、薄的光刻塗層的高長寬比光刻工藝特別有用。使用獨特的原位測量機測量光刻膠厚度，確保沈積的光刻膠在整個晶片上一致。TOKYO ELECTRON MARK V8工具具有多種功能,可提高光刻工藝的效率。它專為高吞吐量和多功能性而設計,具有多種用於本壘板和晶圓尺寸的選項,從而在光刻應用中具有最大的靈活性。此外，資產支持廣泛的光刻膠類型，使用戶能夠為自己的應用選擇最合適的抗蝕劑。Mark V8模型通過優化的配方設計提供過程控制,允許用戶開發適合其特定需求的配方集。它還包括一系列內置的過程控制工具，如現場測量和實時過程監控，使設備成為任何希望優化其光刻工藝的人的理想選擇。此外，系統還有一個存儲光刻配方庫，允許用戶快速方便地產生一致的結果。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON MARK V8是一種先進的光刻裝置，提供卓越的性能和過程控制。該機由於具有超低調制、均勻的塗層以及與多種光刻材料的兼容性，非常適合高精度光刻應用。它還具有內置的過程控制工具，如現場測量和實時過程監控，這意味著用戶可以優化配方並實現可重復的結果。