二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK V8 #9142612 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V8是由半導體制造技術領先創新者TEL生產的光刻膠設備。它是一種綜合性的工具套件，設計用於快速、準確地開發制造微電子電路等固態器件所必需的光阻塗層。TEL MARK V8系統允許用戶將其預定設計的特征尺寸與抗蝕劑塗層精確匹配。TOKYO ELECTRON MARK V8具有多種工藝，包括濕法或幹法化學塗層、平板基板上的光刻膠自旋塗層、軟烘烤、曝光後烘烤和蝕刻。該單元擁有一系列復雜的自動化工具，包括基板的自動加載、監控和邊緣排除。它還具有激光功率、脈沖時間和模式分辨率等多種工藝參數的選擇，以實現設備制造成功所需的可定制性和精度。MARK V8可集成到現有生產線中，與市場上大多數光刻膠兼容。旋轉後,在專有的蝕刻解決方案中開發了抗蝕性塗層,該解決方案允許微調圖案形狀的特征大小。機器還為許多應用程序提供了無與倫比的可重復性和可重復性檢查。這樣可以實現高度的可重復性和過程控制,這是設備制造高度精確的關鍵方面。此外，TEL/TOKYO ELECTRON MARK V8采用最新的機械和電氣部件安全標準設計，如絕緣材料和可安裝的溢流罐，以容納化學溢出。所有這些組件加起來都是一種高效可靠的光刻工具，可以滿足現代半導體行業的需求。