二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark Vz 8000WC #9148322 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Mark Vz 8000WC是一款最先進的光刻設備，設計用於生產半導體、平板顯示器、納米技術和光電工業中的精密薄膜。它具有多項尖端技術和先進功能,使用戶能夠實現亞微米精度和高吞吐量。該8000WC采用了「幹法」功能，一種先進的薄膜沈積技術。該技術應用真空蒸氣沈積（VVD）來有效地將均勻的光敏材料保形塗層沈積到基板上。通過利用高溫和等離子體產生的自由基，這一過程能夠獲得準確、可重復和低成本的薄膜沈積結果。該8000WC提供多種基於幹燥工藝的沈積配置和溫度控制，以達到所需的薄膜精度和吞吐量水平。該系統包括一個圖形用戶界面（GUI）,其中包含易於使用的命令菜單和沈積過程中預期內容的彩色屏幕截圖。它還配備了垂直長寬比功能，可以讓用戶準確控制影片的均勻性，並最大限度地減少非均勻性。此外，該單元還具有邊坡補償能力，允許給定基板的傾斜角發生變化。該8000WC還提供變頻（23至300 MHz）高功率熱源,以提高工藝穩定性和性能。它可以用於處理大小基板，具有相同的精度和均勻性。最後,其先進的圖像質量調整（IQA）功能為增強對比度靈敏度和色度靈敏度提供了定制的配方參數。總體而言,TEL Mark Vz 8000WC Photoresist Machine提供了易於使用的特性、高精度和可靠的吞吐量的強大組合,使其成為生產半導體、平板顯示器、納米技術和光電子的光刻工藝中的合適選擇。