二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #293587285 待售

TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz
ID: 293587285
晶圓大小: 6"
(2) Coater / (2) Developer system, 6".
TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz是一款由全球半導體生產和特種產品市場領先者TEL(TOKYO ELECTRON)製造的光阻設備。TEL MARK-VZ是一種先進的塗層、圖像傳輸和薄膜沈積系統,旨在在廣泛的應用中實現精確、可靠、高效的光刻膠處理。這一單元采用了最新的塗層、成像和薄膜沈積技術,使晶圓附著力和精密塗層能夠在復雜的基板上實現。TOKYO ELECTRON MARK V-Z服務於廣泛的工業需求,包括製造多層電容器、醫療器件、光電器件、感應器等薄膜器件。MARK-VZ作為一種工業級的光刻機,提供了可靠性、可重復性和精確控制的商標。此外,該工具還提供各種塗層參數(如噴塗速率、薄膜厚度、噴塗圖樣和其他特征),以實現高效、精確的晶圓粘合。TOKYO ELECTRON MARK Vz采用閃光蒸發薄膜塗層、靜電噴塗塗層和自動圖像傳輸系統等先進方法,確保了最佳性能和準確性。TEL/TOKYO ELECTRON MARK V-Z具有一次可裝載多達十二個350 mm晶片的開槽光刻室和許多其他特性,使其適合各種光刻加工需要。它還包括自動薄膜沈積、霧化噴塗塗層、自動晶圓處理器、實時晶圓分析、自動圖像傳輸和自動視覺系統。此外,它還配備了各種可定制的參數,可用於根據每個項目的具體要求調整其性能。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-VZ還擁有實時晶圓分析資產,用於評估晶圓特性和確保準確高效的處理。該模型能夠檢測晶圓缺陷,測量晶圓厚度和直徑,評估晶圓的整體質量。此外,TEL MARK V-Z還包括許多過程監控功能,如圖像庫、配方設置、自動在線配方更改和實時數據顯示。這些功能使用戶能夠更準確地了解工藝參數及其產生的結果。總之,TOKYO ELECTRON MARK-VZ光阻設備是工業級制造的可靠高效工具。憑借其先進的塗層、成像和薄膜沈積能力,它非常適合廣泛的生產需求。此外,它的可自定義參數和實時晶圓分析功能使其成為確保準確和精確結果的理想工具。
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