二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #293587286 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz是日本公司TEL生產的光刻蝕刻設備，幾十年來一直走在半導體制造領域創新的前列。TEL MARK-VZ系統是為金屬蝕刻、半導體晶圓線光刻、半導體器件制造等工藝量身定制的。TOKYO ELECTRON MARK V-Z單元包含一個激光切削工具，使用基於激光的加工技術將金屬精確蝕刻到掩模或基板上。這項技術通常用於創建特征大小為4納米的圖樣,提供精確、高分辨率的圖像,可用於各種應用,如微機械加工。還包括集成視覺機，以進一步確保準確性和詳細的可重復性。該工具還包含一個對流回流爐，用於半導體器件的制造過程。這個烤箱提供了一個均勻的加熱環境，在500°C的溫度下充值，這樣小型電子元件就可以安全準確地貼在基板上。這一過程對於創建半導體器件，特別是集成電路中使用的器件至關重要。TEL MARK Vz資產還具有深紫外線照明模型,用於創建基板上缺陷最小的高密度圖樣。此過程對於創建無缺陷且準確反映所需模式的高密度模式至關重要。一種自再生的光致抗蝕劑化學可以確保每次使用都具有一致的高分辨率模式。總體而言，MARK V-Z為半導體器件制造、金屬蝕刻和光刻提供了一個創新而準確的解決方案。MARK-VZ設備結合了先進的激光切割能力、對流回流爐和深紫外線照明，旨在為半導體行業提供最精細的圖案。系統不斷升級，以確保高精度、可重復執行且缺陷最小。