二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #293591400 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz是設計用於半導體和光掩模制造工藝的全自動光刻設備。該系統采用五軸機器人旋轉裝置，可更快、更精確地控制過程。機器人能夠旋轉高達1800 RPM，給用戶更多的對處理需求的控制。該單元還配備了內置的自動視覺機器，采用跟蹤技術，可以在工作表面上更精確地放置光掩模。視覺工具還使資產能夠檢測流程配方參數，從而能夠更快、更準確地控制流程。TEL MARK-VZ型號還具有高精度的微調驅動器，提供了一致甚至均勻的光敏沈積速率。這樣可以確保整個晶片上均勻的層厚度。除了高精度的微調驅動器，設備還包括一個精密噴霧器，通過PLC控制。該系統包括一個內置的圖像分析功能，使設備能夠即時調整進程參數。這樣可以確保更高的準確性和過程一致性。機器還包括一些過程監測、反饋和控制系統。這包括溫度和壓力指標，在過程進行時提供反饋。它還包括一個濃度監測器，它提供關於光刻膠配方的反饋。最後，TOKYO ELECTRON MARK V-Z工具包含了一個用戶介面來設定和監控流程。該用戶界面設計方便操作，可快速設置和監控流程參數。界面還提供了有關工藝參數的詳細信息,以幫助確保隨著時間的推移獲得準確和一致的結果。