二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #293821346 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz是一種用於光刻和微制造的高端光刻設備。它由真空室、激光、強大的光學顯微鏡和超精密的自動化操作組成。TEL MARK-VZ腔室具有超高真空能力，在操作過程中允許極其清潔的條件。激光極為精確，光斑尺寸可從0.2-3微米調節，可用於多種應用。強大的光學顯微鏡放大倍率為560倍，讓用戶有機會清晰準確地查看各種樣品。自動化操作使用戶能夠快速準確地開發復雜的3 D幾何形狀,並對其設計進行微小的調整。該系統還可用於多種應用，包括微機電裝置（MEMS）的制造、納米級組裝等等。TOKYO ELECTRON MARK V-Z能夠進行極精確的深反應離子蝕刻（DRIE），以及離子銑削和等離子體蝕刻。它還提供高級抵抗控制,允許用戶調整其項目的分辨率、深度和統一性。此外，TEL/TOKYO ELECTRON MARK-VZ包括自動化的數據分析能力，允許對所取得的成果進行快速準確的分析。它還具有強大的照明機器，因此即使是復雜的微型結構也可以精確清晰地進行檢查。該工具還設有一個綜合數據庫，便於跟蹤和報告結果。TOKYO ELECTRON MARK-VZ是先進的光刻和微制造操作的必要工具，因為它的操作用途廣泛且準確，具有詳細的成像能力和自動化功能。