二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #293828918 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz是一種用於電子束光刻和蝕刻的半導體器件制造的光刻設備。該系統由真空室、快門、離子槍和光學顯微鏡組成。真空室設計為保持高真空環境。使用快門分散電子槍的光束，可以微調10 nm或更高分辨率。離子槍也包括在腔室清潔單元中。采用光學顯微鏡對樣品進行成像，監測光束光斑大小和形狀。TEL MARK-VZ可實現分辨率超過10 nm的亞微米特性的高分辨率直接寫入。它提供了一個完整的光致抗蝕劑陣列工具包，以創建具有多層特征的復雜陣列形狀。圖案特征可以與1 µm的精度對齊。通過使用多通道對齊機，可以對齊多種模式以高精度相互匹配。TOKYO ELECTRON MARK V-Z也能夠以較快的掃描速度和較短的射頻脈沖時間進行高速電子光刻。該工具可用於各種應用，例如用於創建光學蒙版、薄膜晶體管、MEMS器件和集成電路。特別是,它為MEMS設備提供高分辨率和高速模式寫入。該資產高度可定制,可用於多個應用程序和材料。TOKYO ELECTRON MARK Vz是一種可靠、高效的器件制造光刻膠模型.它專為高吞吐量和高分辨率陣列而設計。該設備具有先進的功能,能夠安全、準確地創建復雜的微觀和納米級功能。它具有高度可定制性,適用於各種設備制造應用。
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