二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9033680 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz是一款為微加工應用而設計的先進光刻設備。該系統由專用掃描儀、控制器和光敏處理室組成。該掃描儀利用半導體光刻技術對感光材料進行精確制圖。這個單元使用了一個二極管激光器，該激光器被引導通過圓柱形透鏡來產生高度聚焦的光束。光學機器用來將光敏材料暴露在激光下，以產生所需的圖案。控制器單元包含設置光刻處理會話所需的所有功能。它具有圖形用戶界面,具有各種參數,如刀具配置、曝光持續時間和陣列速度。光刻膠加工室是該資產的主要組成部分，設計用於光刻膠的幹式和濕式加工。它為光敏材料的曝光提供了精確的控制條件。它配備了曝光時間、溫度、壓力、濕度等一系列可調變量。此外,它還具有安全功能,包括電子壓力控制、自動溫度監測和一系列內置安全機制,以確保光敏材料的安全加工。TEL MARK-VZ是為了滿足微加工應用的高需求而設計的。它提供了高通量成像技術,其分辨率比工業級系統高得多,並促進了設備制造中至關重要的各種光刻膠工藝。該模型非常適合於微機電系統（MEMS）和光伏系統等半導體應用。