二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9111395 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz是一款光刻加工設備，旨在高效蝕刻、成像和清潔表面。它為使用最先進的組件、過程和軟件的光刻膠處理提供了完整的解決方案。該系統采用二合一大氣控制，通過真空和氮氣聯合控制確保一致性和準確性，以實現最佳成像、蝕刻和沈積工藝結果。光致抗蝕劑是一種特殊的材料，用於陣列集成電路。它在半導體工業中用於在矽基板上應用精確的圖樣。該單元由幾個部件組成，包括一個工藝室和淋浴總成、帶有頭部放電單元的反應堆、納米氨酸盒、工藝氣體控制和軟件。該系統還提供高頻和HCl濕蝕刻,用於光刻圖樣、蝕刻和清潔過程。HF蝕刻工藝從矽基板上除去光致抗蝕劑，還對基板進行清潔，為後續步驟做好準備。HCl蝕刻用於淺層蝕刻，允許精確的深度控制。光刻卡帶機具有提供可變厚度的能力，可用於從淺到深的蝕刻，包括預蝕刻和後蝕刻。它還具有獨特的鈍化特性，在塗覆基板時能提高熱色散性能。對該工具的工藝氣體進行調節，以確保最佳成像性能、蝕刻和沈積工藝以及基板保護。該資產具有各種方便用戶的流程控制軟件，例如帶有圖形用戶界面的流程控制單元和流程室安全監控器，以確保安全的工作環境。該模型還允許從遠程終端進行配方編輯。這些功能能夠快速準確地設置過程參數,從而獲得一致和準確的結果。TEL MARK-VZ光敏處理設備最大限度地提高了精度，大大縮短了光敏處理任務的周期時間。它結合了高效的組件、過程和軟件,使其成為表面成像、蝕刻和清潔應用的理想解決方案。