二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9142614 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz是為各種應用而設計的最先進的光刻設備，例如：光刻、薄膜沈積和平面化。作為MARK.V的更新版本,此光刻膠系統反映了基於TEL專業知識和多年艱苦經驗的精密工藝工程技術的結合。機器的核心是一個精密的控制器，它能夠同時管理多達八個處理模塊，允許在一次運行中使用多個過程配方。它采用實時、三維地形處理和監控，配有基於DOS的離線程序員，使用戶可以輕松編程、監控和調整處理參數。TEL MARK-VZ配備了先進的7軸機器人手臂單元，能夠進行精確的分配運動，同時在要求最苛刻的大衣和光刻過程中提供可靠的自動化。此外,它還提供動態範圍的運動控制參數,使用戶能夠針對每個特定過程對機器人的運動進行精確編程。該機還使用雙束電子束光刻（EBL）源（工作頻率為50 KeV），以確保精確的圖樣分辨率和高精度，並有效應對晶圓上小臨界尺寸和細線寬度的挑戰。TOKYO ELECTRON MARK V-Z還配備了用於植入過程的離子源，提供了最佳端點測量和材料層的緊密保形均勻性。最後，高精度的光學測量和工藝監測特點提供了優越的缺陷和生產產量。該工具先進的多傳感器計量資產使用光學和電氣測量來測量臨界特性,如薄膜厚度、抗厚度、陣列尺寸、步長和表面均勻性。集成的非接觸式四波長橢球測量學模型還能夠對地形變化進行有效的過程表征和驗證。綜上所述，TOKYO ELECTRON MARK Vz為研發和生產應用提供了功能強大、自動化和精確的光刻設備。利用正確的技能和經驗,該系統可以確保在各種過程中獲得可靠和精確的結果,最終提高產品產量。