二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9148231 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz是一種用於在晶圓上創建微加工特征的光刻設備。該系統結合了照明和投影光學，能夠以高精度和精確度將先進的設計暴露在基板上。曝光單元分辨率為40微米，可曝光尺寸達200毫米的基板。TEL MARK-VZ使用對能量敏感的光致抗蝕劑來暴露底物。這種敏感的材料會對光線照射產生反應，使特征能夠精確地放置在基板上。然後在專門的顯影劑中處理這種光致抗蝕劑，該顯影劑除去暴露的光致抗蝕劑以顯示下面的結構。TOKYO ELECTRON MARK V-Z具有多種曝光模式，如矢量掃描、接觸打印、動態掃描曝光等等。這為用戶提供了在基板上生成高質量結構的多種選擇。此外，該機器還配備了高精度運動工具和光學設備，用於在曝光期間精確調整特征。此外，TEL/TOKYO ELECTRON MARK-VZ擁有先進的軟件包，允許用戶對曝光參數和特性進行編程，並控制運動模型進行精確對準。該設備還配備了圖像檢查工具，可以檢測晶圓上的缺陷並幫助確保高性能制造。MARK-VZ是一種功能強大、先進的光刻膠系統，用於在基板上生成微細結構。憑借其高分辨率的曝光能力、精確的運動控制以及先進的軟件功能，該單元能夠創造出高度精確和精確的微型結構。