二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9148234 待售
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ID: 9148234
優質的: 1997
Coater & developer
3D (E2 nozzle+Back rinse)
5HP
5Col
Right
Stand alone
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz光刻設備是一種最先進的光刻系統,旨在在半導體晶片上產生高度精確的圖像和圖樣。該裝置使用一種稱為光刻膠的特殊液體化學品,能夠精確地產生預先確定的圖像圖樣,通常用於生產集成電路。TEL MARK-VZ具有一個自動化和計算機化的塞子單元,精確的倍數光刻膠的曝光時間。它還包括一個自旋塗層,用於將光致抗蝕劑液體均勻地施加到晶片上。旋轉塗層以非常快的速度旋轉,完美地將光刻膠散布到晶片上。該機器還具有一個晶片卡盤,在曝光時引導晶片,使其處於穩定的位置。這樣可以確保將所需的圖像或圖樣精確打印到晶圓上。此外,TOKYO ELECTRON MARK V-Z擁有半自動定心裝置和一鍵定心,確保圖樣始終精確對齊,並以晶圓為中心。最後,MARK V-Z具有自動級功能,可確保陣列晶片始終處於水平狀態,並與基板正確對齊。這有助於提高光刻工藝的精度和精確度。總體而言,TEL/TOKYO ELECTRON MARK-VZ光刻工具是一種高度先進、計算機化和自動化的光刻資產,旨在精確生產晶圓上的復雜圖樣。通過使用最先進的設備,如塞子單元、自旋塗層、晶片卡盤和自動級特性,能夠精確地制作出用於生產集成電路的圖樣。
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