二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9148316 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz是為支持半導體制造業的各種工藝而開發的最先進的光刻設備。該系統旨在為各種生產步驟提供改進的工藝控制和改進的薄膜均勻性，同時支持傳統的旋轉塗層單元和新型自對準激光束平滑機。自旋塗層子工具包括一個集成的靜電馬達腔室、一個自旋塗層噴頭和噴嘴，以及一個具有精確輪廓能力的閉環後端晶圓監控資產。該模型還包括晶圓自旋塗層前去除邊緣珠的設備。該系統能夠提供有關每個晶片在旋轉塗層過程中的狀態和均勻性的詳細信息,從而改進了均勻性並更好地控制晶片步高。激光束平滑子單元使用一對自對準、超高功率的激光器在半導體晶片上平滑出表面地形。這允許去除非均勻性和其他超出指定範圍的晶圓特性,而傳統方法無法達到這些特性。機器還提供晶圓厚度的高速測量。TEL MARK-VZ能夠以高達4微米/半循環的速度處理10英寸和12英寸晶片。它可以達到每小時200個缺口的最大采樣速率，包括線緣粗糙度測量。此外，該工具與前沿設施兼容，如：幹濕蝕刻室、快速熱處理反應堆、高溫爐等等。總之，TOKYO ELECTRON MARK V-Z是一種先進、可靠的光阻資產，旨在支持半導體制造業的各種工藝。它為旋轉塗層和激光光束平滑過程提供了改進的過程控制和均勻性，並對晶圓厚度和線緣粗糙度等重要參數進行了實際控制。