二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9148326 待售

TEL（TOKYO ELECTRON）TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz是一種最先進的光致抗蝕劑設備，用於從芯片制造到印刷的一系列行業。光致抗蝕劑系統采用一系列專門的工藝，允許設備和材料暴露於光波中，以改變其特性。TEL MARK-VZ系統也不例外，因為它提供了極其精確、高質量的抗蝕性薄膜處理，能夠為各種應用生產薄抗蝕性層。TOKYO ELECTRON MARK V-Z單元的核心是專有的Sinwave™準分子激光架構。這種超快脈沖激光器是一種非常精確的光源，以前所未有的精確度產生高度精確和極局部的輻射點。在抗蝕膜處理過程中，這種激光器被用來選擇性地將薄而薄的抗蝕層暴露在強度和劑量水平上，使其能夠以完全的精確度和無與倫比的重復性進行修改。TEL MARK Vz光刻機也是高度模組化的，允許使用者進一步自訂工具以符合其確切規格。可以根據需要添加一系列衍射計、光源、光束擴展器、波板和其他組件,以提高性能並提供所需的精度和細節。資產還具有自動控制模型,允許設置各種參數以確保正確的薄膜形成。這包括光學元件的選擇、波長和脈沖速率的設置、能量劑量的控制、光束輪廓等變量。設備還配備了閉環監控系統，具有優越的反饋，保證了最佳性能和薄膜形成一致性。簡而言之，TEL/TOKYO ELECTRON （TEL） TEL/TOKYO ELECTRON MARK-VZ是一種先進的光刻裝置，在抗蝕劑膜的處理上提供無與倫比的精度、精確度和重復性。Sinwave™激光體系結構和自動化控制機器的結合提供了最高水平的性能和靈活性，確保用戶能夠在廣泛的應用中實現他們所需的精確結果。