二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9205494 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz光刻設備是一種光刻解決方案，能夠大規模整合精確的微米尺度特征。該系統適用於先進的晶圓和器件制造設備，能夠可靠地對大縱橫比特征進行陣列設計，並具有良好的配準對準性能。TEL MARK-VZ單元的設計符合先進晶圓設計和制造的要求。該機擅長在矽片、矽層直接成像和復合材料上的應用，速度和精度都很高。在操作中，TOKYO ELECTRON MARK V-Z光致抗蝕劑工具由專用掃描級、掃描儀和光致抗蝕劑處理器組成。掃描階段由兩個立方垂直階段組成，一個六足動物對齊階段和一個多段階段。舞臺配置旨在優化掃描過程中的布局和定位精度，從而在PMOS和NMOS結構之間實現高效叠加。TEL MARK Vz光抗蝕劑資產配備了激光二極管源掃描儀，可以在一個筆觸中對大型高清圖像進行圖樣繪制。該掃描儀使用高功率激光束在圖樣化的基板上精確繪制大長寬比特征的圖樣。掃描儀提供超精確、無失真的曝光,提供非常幹凈和均勻的圖像。TEL MARK V-Z光刻膠型號還具有一種處理器,可提供出色的化學精度,用於濕法和幹法開發。該處理器旨在為難以開發的基板的處理提供一致的數據和高靈敏度。處理器還能夠提供曝光後烘烤（PEB）級別和高級光刻算法。TOKYO ELECTRON MARK Vz光刻設備非常適合用於需要極其精確特征的先進技術環境。它為pro ton和電子束光刻提供了經濟高效的解決方案,以便為各種工藝提供高質量的圖樣。此外,它還提供一系列配置,以滿足客戶的特定需求。