二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9206229 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz設備是一種先進的光刻膠處理系統，具有先進的技術，提供精確可靠的光刻膠溶液。此單元旨在實現低成本和短交貨時間的產品制造。該機基於大面積處理平臺，支持廣泛的光刻膠選項。它包括薄膜和腔室部件等部件,這些部件經過優化以實現最佳的光敏處理。該工具還提供高分辨率的成像資產，以補償環境，確保優越的晶片對晶片的均勻性和產量。為了可靠的光刻膠處理，TEL MARK-VZ配備了精確的層厚度監視器。該監視器可測量光刻膠層的厚度並實現精確的濕工藝控制。它還具有自動過程控制模型，該模型根據輸入參數自動設置光刻膠層厚度。該設備還使用先進的激光光刻工具在光刻層上創建精確的圖案。與傳統的光刻技術相比，該工具可確保高保真圖案精度，能夠產生更復雜的特征。TOKYO ELECTRON MARK V-Z光刻膠系統提供出色的開環分辨率能力,具有動態分辨率能力,能夠在廣泛的曝光時間設置下保持恒定的分辨率值。它還提供了高級對齊單元,可提供高精度和快速對齊,以實現最高的吞吐量。該機還配備了用於分選和分離光刻膠層的高速分選機。此功能有助於簡化排序過程,同時提供高質量的結果。MARK V-Z光刻膠工具是一種高可靠性、高效的光刻膠溶液。它旨在滿足最苛刻的光刻要求,同時提供最大的靈活性、可靠性和成本效益。MARK Vz具有先進的特性、卓越的性能和廣泛的選擇,是光刻加工的理想選擇。