二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9217704 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz是TEL的最新產品,TEL是一款頂級的光刻設備,旨在提供光刻的最高精度和精確度。TEL MARK-VZ是一個模塊化系統，具有廣泛的組件，包括多個曝光頭、級、控制器和ASME遠程處理模塊。它能夠處理直徑達300毫米的基板，紫外線曝光波長從200到365 nm。該單元設有一個最先進的控制面板，使用戶可以快速輕松地調整機器的設置，包括曝光頭的功率和速度，以及舞臺的聚焦和曝光設置。此外，該控制器能夠與先進的ASME遠程處理模塊集成，為光刻膠操作提供進一步的控制和精度。TOKYO ELECTRON MARK V-Z的主要成分是SEMINAR Series曝光頭。這些高度可靠的磁頭產生均勻一致的光場，非常適合處理細線光掩模。曝光頭可以配置在多種配置中，允許用戶根據自己的需求擴展曝光操作。該過程還具有3軸位置定位工具,以確保最高精度。TEL/TOKYO ELECTRON MARK V-Z還具有先進的液體處理資產，確保光刻膠在基板上的均勻應用和分布。這樣就不需要在更換基板時進行手動調整,從而可以簡化光刻操作。此外，該型號與廣泛的抗性材料兼容，包括有機和無機抗性薄膜。TOKYO ELECTRON MARK-VZ還具有廣泛的高級安全功能，可用於保護用戶及其設備。設備裝有虛擬邊緣，檢測基板是否進入不安全區域，立即停止加工；以及冗余的疏散前保護系統，該系統確保在處理過程中所有液體都被安全地包含。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-VZ是一種高度先進的光阻裝置，提供最高的精度和精確度。MARK V-Z具有模塊化設計、先進的安全功能和廣泛的組件,是那些需要快速有效的光刻操作的用戶的理想解決方案。