二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9221712 待售

ID: 9221712
晶圓大小: 6"
優質的: 1998
(1) Coater / (2) Developer system, 6" 1998 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz是開發和生產微電子元件的尖端光敏設備。它能以高效和經濟高效的方式實現高速和可靠的生產。TEL MARK-VZ提供多種功能,包括先進的光對準技術、高精度光刻技術和頂級自動化技術。先進的光對準器技術允許使用亞微米分辨率進行更高精度的晶圓定位和配準。光刻系統具有高動態範圍的能力,使工藝更精細的結構和細節。TOKYO ELECTRON MARK V-Z提供的自動化確保了精細圖案、亞微米尺寸工藝和高純度材料蝕刻等工藝可以快速高效地完成。MARK Vz還具有一個全面的軟件包,可用於監控操作、開發新配方和控制單元。該軟件可實現準確的模式識別、手動流程的自動化以及創建自定義配方的功能。它還使數據分析和反饋能夠在過程優化中做出智能決策。TEL MARK V-Z具有靈活的模塊化設計,使其非常適合融入生產線和自動化。機器人手臂能夠高速操作工件,最大限度地提高了吞吐量,降低了成本。此外,其先進的視覺系統可以檢測缺陷,並根據需要進行調整。TOKYO ELECTRON MARK-VZ使用尖端的半導體級全自動濕法。它利用高溫/高壓和化學輔助蝕刻技術以極好的方式蝕刻材料,以獲得最高質量的圖像和圖案。其高速、高精度的蝕刻功能確保了具有最新功能的設計的最佳效果。最後但並非最不重要的是,TEL/TOKYO ELECTRON MARK V-Z具有高精度的器件測量和缺陷檢測能力。其強大的視覺系統能夠從各種角度快速獲取圖像。視覺系統即使在亞微米分辨率下也能以快速可靠的方式檢測、識別和定位缺陷。簡而言之,TOKYO ELECTRON MARK Vz是一款高度先進的光刻機,提供多種特性和優點。其先進的光對準技術、高精度光刻、自動化、軟件包、模塊化設計、視覺系統,使其極為適合生產微電子元件。其全自動濕法工藝和高精度的器件測量和缺陷檢測使其成為高質量生產的理想選擇。
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