二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9226209 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz是一種光致抗蝕劑設備，設計用於半導體加工。光致抗蝕劑是一種光敏材料，用於光刻等半導體工藝中，使圖樣能夠從掩模精確轉移到晶圓上。TEL MARK-VZ能夠處理高達200 mm的半導體晶片，並利用了最先進的抵抗塗層模塊，允許高精度抵抗應用。此外，該系統還配備了一個直接接觸曝光模塊和一個精確的光學卡鉗，用於獲得精確的抵抗模式結果。該裝置采用高分辨率CCD攝像機，在曝光過程之前直接監測晶圓狀況，並采用低視頻噪聲電鏡，對曝光模式進行精確控制。由於暴露過程和塗層模塊是完全自動化的，因此機器能夠實現高水平的可重復性，從而獲得始終如一的高質量結果。此外,可以在工具的可編程內存資產中輕松存儲和召回一系列配方,從而在涉及多個步驟的復雜過程中提高效率。此外,TOKYO ELECTRON MARK V-Z的設計目的是提供高水平的安全性能,低汙染風險、意外暴露和其他安全問題。該模型采用與潔凈室兼容的氣體供應模塊，並配有安全聯鎖裝置，以防止不必要的暴露，以及防止氣體排放，並在每種抗蝕塗層工藝後進行清潔/滅菌。此外，該設備還裝有紫外線安全單色儀，用於監測暴露過程中的輻射水平，並自動將輻射水平調整至最優值，確保安全的操作環境。總體而言,MARK-VZ是一種高度先進的光刻膠系統,可提供無與倫比的精度、安全性和效率級別。通過將最先進的抗塗層和曝光模塊與先進的CCD監控技術相結合，該單元為用戶提供了一個可靠和一致的平臺，以最小的努力處理高質量的晶圓圖樣。