二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9250082 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz是為了啟用先進的紫外線光刻而開發的光刻設備。該系統精密的光刻能力使得實現微電子電路的精確制圖成為可能，是生產高性能器件的理想工具。TEL MARK-VZ使用極紫外線（EUV）輻射將圖樣投射到透明度高、光學像差低、成本低的晶圓上。這項新技術是為了減少傳統ALD工藝的光學像差而開發的。TOKYO ELECTRON MARK V-Z的主要部件包括單色EUV光刻源、光刻掩模、光掩模和抗蝕劑處理器。單色EUV光刻源是發射13.5nm短波長輻射的等離子體源陣列。光刻面罩設計為允許EUV輻射的特定光波長通過，以便在抗蝕劑上形成圖案。掩模還充當衍射元件。光掩模是一種不透明的印版,具有基於鉻的設計,用於創建所需的圖樣。抗蝕劑處理器是一種可以控制抗蝕劑的曝光時間、溫度和濃度的裝置，以實現基板的精確陣列。MARK V-Z也是後開發過程如除渣、濺射或烤箱烘烤，以及內部電極和鉛架的理想工具。此外,TEL MARK V-Z是一種高度靈活的機器,允許使用圖樣化技術,如氧化墊蝕刻和陰影蒙版蝕刻。總體而言，TEL/TOKYO TEL/TOKYO ELECTRON MARK V-Z是一種可靠有效的光刻工具，能夠顯著提高像素級精度。它是現代芯片生產的理想工具，其準確性、靈活性和可靠性使其成為微電子器件制造商的絕佳選擇。