二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9273847 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz是一種精密光刻設備。它用於制造集成電路（IC）作為光刻工藝。光致抗蝕劑是一種光敏材料，在IC制造過程中被施加到基板上，然後被暴露在一個稱為標線的圖樣光源下。該系統允許將材料層精確蝕刻和沈積到基板上。該單元由幾個組件組成，包括光學步進器、scriber、掩模對準器和等離子體蝕刻器。光學步進器用於將光刻膠層精確地暴露在標線上。在蝕刻前和蝕刻後，使用剪刀對基材進行切割和成形。掩模對齊器用於確保正確對齊，減少光刻圖樣的可變性。最後，使用等離子體蝕刻器以適當的深度和速度將薄膜圖樣蝕刻到光刻層上。TEL MARK-VZ有幾個功能可以用來優化光刻膠工藝。該機器專有的激光微蝕刻技術使IC制造的循環時間更快、吞吐量更高、最終產量更高。此外,該工具的自適應透鏡技術使其能夠快速調整以適應不同的標線圖案和特征尺寸,從而獲得更精細的細節。TOKYO ELECTRON MARK V-Z還提供了一系列操作特性，有助於提高可靠性和促進高效操作。其中包括自動溫度控制，以及用於控制蝕刻過程的壓力調節器。此外,TEL/TOKYO ELECTRON MARK V-Z還配備了全面的用戶界面和軟件包,以指導用戶完成設置和評估過程。總之，TEL MARK V-Z是一種用於IC制造的可靠、強大的光致抗蝕劑資產。其先進的光刻功能可實現更快的周期時間、更高的吞吐量和更高的產量。它的操作特性和用戶界面也確保了可靠的操作和易用性。有了這些特點，MARK V-Z是IC制造和其他光刻工藝的絕佳選擇。