二手 TEL / TOKYO ELECTRON / NEXX Stratus 200 #9187451 待售
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已售出
ID: 9187451
晶圓大小: 6"-8”
優質的: 2009
Electroplating system, 6"-8”
Cassette to cassette: Yes
Process: CU and AU
Tanks: No
Power Requirements: 120/208 V, 150.0 A, 50/60 Hz, 3 Phase
CE Marked
2009 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX Stratus 200 Equipment是目前用於多種工業應用的高性能光刻膠系統,如半導體和平板顯示器制造。TEL Stratus 200單元由真空晶片裝載機、基板轉移機器人、真空晶片處理機、光刻工具以及各種外圍元件組成。真空晶片裝載機用於運輸基板並將其保持在均勻的壓力環境中,確保達到嚴格的規格。這種裝置在步進電機上運行,可以通過編程來容納多達50個8英寸的晶圓。基板轉移機器人用於從裝載機中拾取基板並將其運送到光刻工具上。這款機器人有六個自由度,由於其無刷直流電機,精度和可靠性都很高。它采用不銹鋼結構,設計輕巧而堅固。真空晶片處理器是一種真空裝置,用於在均勻的壓力環境中容納多達300個8英寸晶片。這種裝置由鋁構成,使用專有的測量工具來精確和一致地測量基板。光刻工具是NEXX Stratus 200資產的主要組成部分。該工具專為納米精度而設計,具有非常精確和穩定的光學模型。它使用先進的成像系統和復雜的軟件為各種應用程序提供最高性能。此外,它還具有先進的掩碼對準以及可控和自動化的曝光技術。Stratus 200 Equipment是一個高度可靠的系統,能夠滿足各個行業的精確需求。其精密的元件、優越的構造,以及先進的成像與軟件的結合,使其成為光敏處理的頂級解決方案之一。
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