二手 TEL / TOKYO ELECTRON / NEXX Stratus S300 #293748593 待售
網址複製成功!
NEXX SYSTEMS Stratus S300是一種光刻光刻設備,可作為PCR和其他研究及制造過程的可靠且經濟高效的工具。這個系統操作的波長範圍很廣,從紫外線到近紅外,以減少曝光和加工各種材料如SiC、SiO2、SiN和光刻膠所需的能量量。它具有一個大的、統一的視場和精確的舞臺,提供精確的對準和移動與應用。S300單元集成了專有的光束掃描技術,可提供卓越的圖像生成、分辨率和可重復性。該機還利用實時項目反饋和位置控制,確保對準和曝光的準確性。其有效等級的可變NA或數值孔徑高達0.7的光學器件提供了卓越的光強度和均勻性,同時將曝光時間保持在短時間內。Stratus S300包括高精度的自動化聚焦、曝光強度和劑量控制以及階段自動化功能。這些特性保證了在空腔、圖樣位置、薄膜、深度分辨率和線寬控制等各種應用中都能獲得最準確的結果。NEXX SYSTEMS Stratus S300具有出色的紫外線光源穩定性,具有無與倫比的工藝性能,具有可重復的特征再現和低速的溫度變化反應。該工具還具有雙重激光致盲和框架鎖定等集成安全功能,非常適合實驗室使用。此外,它采用節能暗室設計,將能耗降至最低。Stratus S300與各種軟件解決方案兼容,並且可以進行配置以匹配各種應用程序。綜上所述,NEXX SYSTEMS Stratus S300提供了可靠、統一和經濟高效的光刻光刻技術,適用於PCR和其他研究和制造工藝等各種應用。它的實時反饋和光學技術提供了卓越的分辨率和可重復性,同時縮短了曝光時間。其集成的安全特性和暗室設計使其非常適合實驗室使用。
還沒有評論