二手 TEL / TOKYO ELECTRON / NEXX Stratus S300 #9256281 待售

TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX Stratus S300是半導體器件制造中用於光刻工藝的光刻設備。該系統旨在使晶片暴露於光和化學物質中以用於成像，並且能夠在晶片表面產生復雜復雜的圖樣。TEL Stratus S300利用強大的激光掃描單元將光引導到晶片上,從而生成高保真特性。該S300能夠使晶片同時暴露於氟離子準分子和紫外線光源。這使得機器能夠同時暴露和轉移負和正模式到晶片。這項技術允許在光刻過程中獲得更高的精度和細節。該S300采用了一種先進的掃描工具，有可能產生小至0.1微米的特征。此資產允許進行高精度的光刻工藝,例如對深層溝槽特征進行陣列化、形成信號路由接觸或生成高級工藝節點所必需的超精細陣列。該S300還采用了全面的先進曝光控制模式。該設備由一系列傳感器和鏡頭組成,這些傳感器和鏡頭不斷監視和調整系統的曝光參數,確保始終實現最佳特征分辨率。此外,還提供高級計量選項,例如舞臺級薄膜測量,從而進一步制作復雜的圖樣和特征。總體而言，NEXX Stratus S300光刻裝置是一種先進的技術，能夠在半導體晶片表面上產生高質量的圖樣和特征。TOKYO ELECTRON Stratus S300擁有強大的激光掃描機和先進的曝光控制和計量功能,為光刻工藝提供了可靠、經濟高效的解決方案。