二手 TEL / TOKYO ELECTRON / NEXX Stratus S300 #9302388 待售

TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX Stratus S300是一種精密光刻設備，設計用於在半導體基板上產生高品質的光刻圖樣。它提供了一個高效的方式來創建復雜的微電子設備的速度和精度。TEL Stratus S300包括多光束光刻頭和4點高分辨率步進電機,以及具有可選多孔曝光功能的高精度基板級。該系統使用KrF準分子激光束提供0.18微米分辨率，曝光波長設置為248nm。唯一的自對齊功能可確保正確對齊所有曝光操作。該設備采用多層掃描機制，以確保高精度和快速的產品吞吐率。它最多可容納8種尺寸達8英寸的基材，最大基材厚度為0.6mm。本機提供1.2mm方形面積的2.4sec/shot超快曝光速度。它還包括一個高性能的晶片處理程序，從卡式裝載機的正確方向和位置饋送基板。NEXX Stratus S300將高精度模式生成與改進的模式均勻性、圖像分辨率和高通量率相結合。它還提供了一個先進的過程控制工具，對暴露條件和機器性能進行實時優化。該資產可減少基板的不均勻性,優化曝光參數,確保環境影響最小,成像質量卓越,並且在延長運行期間可重復顯示結果。總體而言，TOKYO ELECTRON Stratus S300是一種創新的、高度精確的光刻膠模型，可以產生高品質的光刻膠圖樣，並有最少的大驚小怪或浪費。其先進的特點使其成為生產速度和精度復雜的微電子器件的理想工具。