二手 TEL / TOKYO ELECTRON PDS-BX02E0954 #293658856 待售

TEL/TOKYO ELECTRON PDS-BX02E0954是一種光致抗蝕劑設備，能夠將圖樣精確掩蔽或再現到基板上。它提供高精度成像、分辨率和吞吐量方面的卓越性能。該系統包含三個主要組成部分：電子束發生器、激光光源和工藝室。電子束發生器產生的光束由物鏡沿著光束路徑聚焦和定向。激光光源產生激光，用於圖案書寫。該工藝室包含一個環境控制單元，使工藝室保持清潔和真空密封。TEL PDS-BX02E0954擁有非常高效的成像機，利用J-Type鏡頭提高工藝效率。這種透鏡便於電子束在整個底物上的均勻成像，產生高分辨率的圖樣。此外，TOKYO ELECTRON PDS-BX02E0954采用了專門設計的計算機控制裝置，每秒可處理500萬像素。這顯著提高了模式寫入速度和準確性。PDS-BX02E0954是Hi-K和Copper互連應用的理想選擇,已成功用於通信和內存生產。它具有廣泛的功能,包括向下縮放圖樣、輪廓校正、圖樣壓縮、圖像圖樣優化和接觸孔填充。此外，該工具還支持使用最新的光刻設計進行操作，如雙陣列和電子束直接寫入。資產還具有創新的溫度控制模型，以幫助確保可重復的結果和精確度的模式過程。該設備主動調整工藝參數，以優化每次曝光。此外,系統還利用最小的功耗,使其成為大規模生產運行的經濟選擇。TEL/TOKYO ELECTRON PDS-BX02E0954為創建高度復雜和詳細的電路結構提供了卓越的精確度和先進的技術。它為生產尖端設備提供了經濟高效的解決方案,非常適合大批量生產。