二手 TEL / TOKYO ELECTRON PHP Oven for ACT 8 #9273728 待售

TEL/TOKYO ELECTRON PHP Oven for ACT 8是一種用於半導體器件制造光刻工藝的光刻設備。這一通用工具旨在為正負光刻膠的開發提供一個安全的環境。該系統由裝有雙傳輸機構的腔室、先進的加熱和冷卻系統以及集成的機械臂組成。該腔室還設計用於必要時修復口罩和物體表面。烤箱的雙重輸送機制允許晶圓和其他物體在同一基板上的裝卸。這樣可以在不同的光刻膠和基板之間進行更快速、更高效的處理。它還配備了可調的機械參數，以進一步精簡工藝。設備的溫度控制是使用先進的基於PID的溫度控制器完成的,該控制器能夠保持高溫和低溫。這樣可以確保光刻膠層得到適當的固化和顯影。此外，烤箱還配備了先進的冷卻機，可以安全地消除多余的熱量，並迅速將溫度恢復到所需的水平。機械臂的設計目的是確保物體在進出艙室時的準確和安全定位。這提供了很高的精確度,並確保以最佳的方式處理對象,且損害最小。通過使用專有的處理程序、內置的診斷功能、維護數據記錄以及集成的安全監控工具，加強了機器的長期穩定性和安全性。所有這些都確保資產平穩運行,並且在影響生產之前可以快速識別和解決任何問題。總而言之,用於ACT 8的TEL PHP烤箱是半導體器件制造中的一個非常寶貴的工具.其先進的特性、堅固的設計和精確的能力確保了光刻膠層的可靠和高效的處理。