二手 TEL / TOKYO ELECTRON PHP Oven for ACT 8 #9275822 待售

TEL/TOKYO ELECTRON PHP Oven for ACT 8是一種設計用於半導體器件生產和LCD面板器件FA的「光刻」設備。利用TEL-B-Tech PPS技術提供精確穩定的加熱，獲得敏感電子的最佳效果。在PHP爐中加熱制造液晶面板器件光刻工藝中使用的氯氧化磷（POCL3）型抗蝕層，以確保質量一致。PHP烤箱由短室和加熱區、排氣區、擴散區和排氣室組成。它旨在有效地將氧氣量降低到2ppm或更低的水平,以保持POCL3抗蝕層的穩定性。加熱區配有珀爾帖元素，使系統溫度保持在20-200°C的範圍內，十五個單獨的熱量通道。擴散帶還配備了珀爾帖元素，將烤箱溫度保持在0-200 °C的範圍內。此外，排氣室還有一個凈化裝置，可以防止POCL3排放到環境中。PHP烤箱還采用高功率PIR紅外燈，增加了從烤箱室到基板的熱傳導，取得了較好的效果。它還使用靜電過濾器來減少排氣區發出的細小灰塵。此外,其控制機具有真空控制和溫度控制.TEL PHP Oven for ACT 8 is a reliable and efficient way to provided stable conditions for production of sensive electronics, specially to probricating LCD panel devices.該工具旨在以最小的誤差和風險提供快速和可預測的結果。