二手 TEL / TOKYO ELECTRON PHP Oven for ACT 8 #9276948 待售

TEL/TOKYO ELECTRON PHP Oven for ACT 8是一種高性能的光致抗蝕劑設備,旨在精確控制最佳光致抗蝕劑成型所需的溫度。該系統提供了一種超精確和一致的傳熱，從而消除了導致基板內光敏粒子膨脹和脫落的高溫。這是通過烤箱的雙壁熱解塗層石英室和各自的加熱單元來實現的。本機由一個裝有光刻膠的上部石英室組成，下部石英室包含一個專有的次地板加熱工具。兩個單獨的腔室通過充氣密封連接，從而形成氣密的加熱環境。地下加熱設備通過集中加熱元件將熱量輸送到石英室內。安裝了超快速響應熱電偶，實時測量工藝溫度，從而允許快速反應時間和精確熱控制。TEL PHP Oven for ACT 8提供50至300°C的溫度範圍，由獨特的強制空氣對流算法精確控制。該算法監測石英腔內溫度變化的速度，必要時通過使用氣流鞏固運動。這確保了石英腔室內的溫度不僅能快速達到要求的水平，而且還能以極好的精度和一致性保持溫度。烤箱還包含一系列激光聚焦和可單獨控制的熱指向系統。相應的熱尖可以用來隔離甚至增加整個基板的熱分布。該模型還可用於在石英室內的任何化學過程之前創建基礎溫度。另一個特點是設備獨特的自我監控技術，確保人員和設備的安全。它通過檢測任何溫度超載並通過關閉供熱裝置來進行響應。總體而言，用於ACT 8的TOKYO ELECTRON PHP烤箱通過其超精確的溫度控制和強制空氣對流機制提供了高精度和可靠性。這樣可以確保使用系統進行的任何光致抗蝕劑工藝都能獲得最佳的質量結果。