二手 TEL / TOKYO ELECTRON PHP Oven for ACT 8 #9314751 待售

TEL/TOKYO ELECTRON PHP Oven for ACT 8是一種先進的光刻設備，用於一系列臨界光刻工藝。它提供了支持精確、可重復和一致開發光刻膠層的各種特性的組合，這對於制造半導體和微電子器件至關重要。TEL PHP Oven for ACT 8利用先進的專有真空技術，以優異的線緣和線寬控制達到高分辨率。此外,系統還具有優化的幾何形狀,可幫助實現卓越的工藝性能。PHP烤箱還采用了一種新型的能量傳遞裝置，增強了均勻性和可重復性，並提供了快速的熱傳熱。此外，對這種烤箱能量進行精確監測和控制，以確保過程的可重復性和可重復性，並提供所需的高性能。此外，用於ACT 8的TOKYO ELECTRON PHP烤箱還包括各種集成的模塊化工藝選項。這些設計旨在滿足現代光刻工藝的特定平面化、光刻和曝光後烘烤需求。例如，可編程浮動熱板和多區選項可用於專門的流程。PHP烤箱允許開發具有卓越分辨率、線緣均勻性和可重復無粒子結果的光刻膠層。此外，在需要集成後處理的情況下，PHP烤箱可與用於關鍵清潔過程的集成灰烤箱結合使用。綜上所述，PHP Oven for ACT 8是一款先進的光刻機，結合了多種特性，保證了高性能和最佳的工藝可重復性。它有助於以快速和可靠的方式生產優越的光刻膠層，同時還為專門工藝提供集成模塊選項。因此，它是臨界光刻和平面化工藝的理想選擇。