二手 TEL / TOKYO ELECTRON system #293667182 待售

ID: 293667182
優質的: 2019
2019 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Equipment是一種主要用於半導體器件制造的光阻TEL系統。它是光刻工藝中使用最廣泛的TOKYO ELECTRON Unit,是創建集成電路(ICs)的關鍵步驟。光致抗蝕劑是一種光敏材料,用於蝕刻矽片上的圖樣。它由一種光敏聚合物制成,當暴露於紫外線下時會聚合,並且可以通過暴露於顯影劑溶液而軟化或去除。當受到紫外線照射時,光致抗蝕劑聚合,通過在晶圓表面上創建一個掩模來幫助形成圖樣。光刻工具用於將光刻膠對準目標表面,並由掩模對準器、步進器和掃描儀組成。掩模對準器主要用於將電子束與掩模中的圖樣對準。步進器用於將所需圖樣的部分縫合到晶圓上。該掃描儀用於掃描大面積的晶片,並使用平版印刷技術對整個表面進行制圖。成像TEL資產是TOKYO ELECTRON Model的第三個成份。它用於以最小的變化將精確的設計模式投影到目標表面上。它使用光學、電子束或X射線光刻技術來產生所需的設計。成像設備還包括光源、透鏡和濾鏡,用於促進矽膠晶片中的蝕刻圖樣。總體而言,TEL/TOKYO ELECTRON System在半導體工業中被廣泛用於設計高精度晶片上的復雜圖樣。它是設備制造的一種經濟高效的解決方案,是電子技術發展的關鍵。隨著放大倍率、瑕疵檢測和成像系統的提高,最終產品的準確性和可重復性日益提高。
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