二手 THERMO FISHER SCIENTIFIC / SHANDON 312007 #9040707 待售

Thermo FisherTHERMO FISHER SCIENTIFIC/SHANDON 312007是一種光致抗蝕劑系統,用於將材料薄層精密蝕刻和沈積在基板上或制造多層微結構。它由一個控制面板、電源、曝光源和一個樣品板組成，該樣品板旋轉和滑動，使輸出的能量束與基板精確對齊。光刻膠系統有能力處理尺寸範圍較大的基板，包括尺寸較小的基板，如2 「x2」基板，此外還有更大的標準基板，如4 「x4」和6 「x6」。這一過程使微觀結構的設計更加靈活，例如復雜的圖樣，對於生物醫學或電子應用而言具有高精度。光致抗蝕劑的過程開始於在基板上施加一層薄薄的光致抗蝕劑，它是一種光敏聚合物。光刻樹脂到位後，曝光源被打開，產生一束聚焦能量，以便蝕刻或沈積材料到光刻樹脂的暴露區域。光束用操縱桿控制,以便精確對準。曝光過程的持續時間和復雜性也可以微調，從而在制造過程中實現更大的控制和準確性。曝光過程完成後，開發出光致抗蝕劑。這一開發過程的工作原理是利用化學顯影劑溶解光致抗蝕劑的暴露區域，留下未暴露的區域，這些區域將充當保護面罩。然後,此蒙版充當模板,用於定義要蝕刻和沈積的部件。一旦開發出光致抗蝕劑，剩余的蝕刻或沈積過程就可以根據所需的性質進行。這些過程可以包括離子或等離子體蝕刻、通過濺射沈積薄膜層以及電鍍。在Thermo FisherSHANDON 312007的幫助下進行的這些過程的組合使得能夠精確制造具有復雜微觀結構和組件系統的部件。微結構的精確制造是從生物醫學到電子等各種用途的新型材料和器件開發的重要一步。