二手 TOHO KASEI SD-06 #9280581 待售

TOHO KASEI SD-06是一種最先進的光刻膠設備，設計用於處理一系列光刻膠材料處理任務。它配備了先進的特性，使光刻膠的應用更容易、更快。該系統由三個主要組成部分組成：一個磁帶轉運站、一個光刻膠自旋站和一個光刻膠帶狀站。磁帶轉運站允許在安裝在聚酰亞胺或聚酯膠帶上的基材之間分配和轉移。光致抗蝕劑自旋站的設計目的是將均勻的感光材料膜快速直接地傳遞到基板上。KASEI SD-06具有改進的晶片卡盤,可實現更高的旋轉速率,最高可達3,000 RPM,以確保晶片的快速均勻塗層。光敏帶站的設計是為了去除顯影後的感光材料，從而在基板上得到幹凈準確的表面光潔度。該單元支持多種感光材料，包括一些粘度不同的材料。一個可選的分配噴嘴可用於高粘度材料。TOHO KASEI SD-06有一個大型液晶顯示屏，便於操作和監控機器。用戶友好的觸摸屏界面允許參數編程和控制。它還具有自動清潔周期,用於低維護操作。總體而言，SD-06是一種功能強大且可靠的光刻工具，非常適合半導體工業使用。它具有許多功能,可實現卓越的性能和過程一致性。它的三個主要成分使得它適合一系列的光敏材料加工任務。此外，其用戶友好的控件、大型液晶顯示屏以及高速旋轉速率，使其成為實現可靠效果的完美選擇。