二手 TOHO KASEI SD-08 #9280582 待售

TOHO KASEI SD-08光刻系統是一種用於半導體器件制造的高性能、精密的光刻系統。它非常適合先進的器件制造，提供高度的準確性和可重復性，同時在先進的半導體器件生產中獲得最高的產量。SD-08使用最新的光刻技術，包括半微米以下的抗蝕性分辨率、均勻性控制和高純度、無掩碼光刻。它還結合了幾種材料塗層工藝，包括旋轉塗層、噴槍應用和靜態噴塗塗層。TOHO KASEI SD-08是一種三合一的無掩模光刻機，由物體保持臺、晶圓曝光臺和抗蝕劑清除臺組成。物體階段負責物體對準和曝光的準確定位。曝光階段由兩個激光源組成，以193納米的波長發射激光束，對物體進行微觀化學曝光。然後，抗蝕劑去除階段使用基於硫醇的剝離劑去除暴露的抗蝕劑，只剩下patternedresist保持完整。SD-08為先進的設備生產提供了高度的分辨率和準確性。193納米激光波長通過實現亞半微米的抗拒分辨率提供了高分辨率。另外，激光的均勻性控制確保相同數量的激光能量指向物體上的每個點，從而產生精確的曝光。最後，無掩碼光刻可確保光刻過程不會因掩模不對準或配準不準確而出錯。TOHO KASEI SD-08是先進半導體器件生產的理想選擇，提供高度的精確度、精確度和分辨率。利用激光源和均勻性控制，SD-08確保通過精確的對準和曝光達到最高產量。其硫醇基剝離劑還可確保快速、方便地去除暴露的抗蝕劑，僅保留所需的圖樣抗蝕劑。