二手 TOHO KASEI SD-08 #9280838 待售

TOHO KASEI SD-08
製造商
TOHO KASEI
模型
SD-08
ID: 9280838
晶圓大小: 8"
優質的: 1994
Spin dryer, 8" 1994 vintage.
TOHO KASEI SD-08是由TOHO KASEI Co., Ltd.開發的一種光阻設備,用於電子、光電子和MEMS應用基板的塗層和圖案設計。該系統帶有兩種在其他光刻膠系統中找不到的創新技術。第一種技術是新穎的基材分配法(SDD).這種方法使用一種專有的精密分配機構,能夠為可能具有不同特征的基板提供均勻的光刻膠塗層,如不同的厚度、曲率和基板方向。光刻膠的這種精確應用確保了均勻的覆蓋範圍和更精確的圖樣,而無需額外的後處理。SD-08的第二項技術是先進的光子發射熱點檢測方法(PEHD)。這種方法使TOHO KASEI SD-08能夠檢測光刻膠和基板在暴露於激光束時因基板加熱而引起的能量分布模式的改變。這使得該單元可以自動調整激光功率和其他參數,以確保最佳曝光,從而改進了模式傳遞和高精度成像。SD-08還帶有其他有用的功能,例如有助於獲得更高分辨率圖像的高靈敏度圖像增強攝影模塊,以及層厚度控制機,該機允許用戶設置光刻膠層厚度以實現更精確的圖樣制作過程。綜上所述,TOHO KASEI SD-08是一種先進的光阻工具,它采用了兩種技術,即基底雙剛性分配法和光子發射熱點檢測法,為光阻提供了更加均勻準確的應用,並確保了激光的最佳曝光,以改進圖樣傳遞和高精度成像。其其他有用的特點使這一資產成為一種通用和先進的光阻解決方案,用於電子、光電子和MEMS應用。
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