二手 TOKYO SHOKAI Miniax DH150 #9258849 待售
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TOKYO SHOKAI Miniax DH150是用於開發光刻圖像的創新光刻設備。是利用紫外線(UV)光照射在半導體晶圓上形成潛像的雙光束系統。該裝置旨在促進光刻工藝,幫助滿足高容量、高精度晶圓生產的需求。該DH150配備了兩個先進的紫外線暴露模塊,每個模塊具有有效的1.5百萬像素分辨率。這提供了一個極好的精度和高分辨率的圖像獲得的晶圓。它的可調整、可重復曝光範圍為1.7至207 mJ/cm2,使用戶能夠可靠地開發各種晶圓類型的圖像,並滿足復雜的光刻要求。Miniax DH150機配備了高精度的隧道滑動臺,使用戶能夠獲得均勻的晶圓曝光。即使對於高分辨率矽片,這也是光刻材料快速準確曝光的理想選擇。該工具還采用了先進的隧道掃描資產,為用戶提供增強的統一性和準確性。TOKYO SHOKAI Miniax DH150采用高效可靠的噴塗模型進行設計,確保光刻膠材料的高效輸送。這臺設備由200毫米噴頭和高分辨率設置組成,可在整個晶圓表面傳遞均勻的噴霧圖案。它還配備了可調噴嘴長度,使用戶能夠精確定制自己的噴塗圖樣,優化其光刻要求。Miniax DH150是一個先進的光刻系統,為用戶提供了一個高效和精確的光刻工藝在廣泛的晶圓類型。它配備了極精確的雙梁單元,高效的隧道滑梯,以及可靠的噴霧機。此工具是實現精確和高分辨率圖像的絕佳選擇,使其成為任何光刻應用的重要工具。
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