二手 TOSHIBA CMT-600W #9356205 待售
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TOSHIBA CMT-600W是一種最先進的光刻設備,可為各種微型設備和組件提供最先進、經濟高效的處理。該系統具有1600毫米的曝光區域,具有均勻的光源和均勻的光照效果,以實現照片成像儀的卓越分辨率。較小的曝光區域允許更高的吞吐量、更快的處理時間和更高的基材質量。該單元包括一個用於提高生產率的高容量晶圓處理程序。晶片被裝在托盤中,運到曝光站,在那裏通過紫外線和機械運動的組合曝光。紫外線與機械運動相結合,提供精確的晶圓曝光.晶片也可以暴露於包括10/6、15/10和6/4在內的各種掩模格式,以進行精確曝光。該機還包括一個光刻電路,其中包括接觸的光刻過程,和蝕刻。進行接觸打印是為了在晶圓上產生高分辨率的照相圖像。光致抗蝕劑沈積在晶片上,並利用紫外線曝光,產生所需的電路模式。然後從晶片上蝕刻或移除光刻層,以便進一步細化電路模式。此外,該工具可以被編程為同時蝕刻兩個或三個層圖樣。CMT-600W資產還具有600毫米真空卡盤,為產品基材質量的可靠精度提供了一個穩定、精確的平臺。真空卡盤模型確保站點的精確對齊,以確保更高比例的精確打印圖樣。該設備還包括華碩變壓器,為用戶提供直觀、易於使用和高效的界面。這允許圖像加載和處理以及數據分析達到前所未有的水平。TOSHIBA CMT-600W系統是適用於任何生產環境的經濟高效且先進的光刻解決方案。該裝置配備了多種特性,幾乎可以適應任何生產需要,包括晶圓生產、芯片生產和其他高分辨率元件。該機將最先進的設計與先進的技術完美結合,以極小的成本提供卓越的性能和精度。
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