二手 TOSHIBA CMT-600W #9410792 待售
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單擊可縮放
ID: 9410792
Coater system
Roll to roll
Double sided
Tooling flatness: 0.3um
Motor drives: Direct drive
600mm Coating range: 500mm
Film thickness accuracy: ± 2%
Speed: 50m/min
Adjustable intermittent coating
30-300N / Width.
東芝CMT-600W是東芝公司設計制造的光刻設備。它是一個高精度、全自動、非接觸式抗拒處理系統,能夠高效曝光和開發大面積光學物體。CMT-600W設計用於使用高功率曝光單元和先進的曝光方法實現極高的分辨率。該機可容納一系列光學物體,包括半導體掩模、顯示器和光電導體基板。TOSHIBA CMT-600W使用波長在400到450納米之間的大功率氙燈,能夠提供高達4000 mJ/cm2的曝光能量。CMT-600W采用兩階段曝光工具,包括曝光階段和焦點校正階段。在曝光階段,物體受到氙燈的照射,接著是第二階段,進行聚焦校正,以確保在基板上準確放置特征。資產還具有自動傾斜選項,用於補償跨基板的不均勻表面高度。此功能有助於在整個基板區域實現均勻曝光。TOSHIBA CMT-600W還配備了強大的開發模式,可以讓抗蝕劑表面快速、方便的沖洗和幹燥。除了強大的曝光和開發系統外,CMT-600W還具有許多其他功能,使其成為光刻膠處理類別中的通用工具。它有一個自動化的清潔設備,以及一個紫外線發射監測器和一個集成的間隙填充系統。該單元還包括一臺內置缺陷檢驗機,能夠識別和隔離缺陷,使用戶能夠在整個過程中確保質量控制。總體而言,TOSHIBA CMT-600W是光刻處理的絕佳解決方案,為大面積光學物體提供卓越的分辨率、準確性和靈活性。它結合了現代技術和先進的設計元素,以提供卓越的效果。該工具適用於從半導體掩蔽到顯示器制造的一系列應用。CMT-600W具有先進的性能和可靠的性能,是光刻加工的理想選擇。
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