二手 TRYMAX NEO-3000 #9269770 待售

TRYMAX NEO-3000是為先進光刻應用而設計的最先進的光刻設備。它采用了創新技術的組合，旨在實現相關曝光的優越匹配。其中包括灰度正強度調制（G-PIM）、垂直對齊（Vertical Alignment, VA2和選擇性圖樣放置（SPP）,它們共同允許光阻層之間的高級圖樣匹配。結果表明，通過最小程度地調整曝光參數，可以達到良好的光譜尺寸和良好的光譜均勻性。NEO-3000具有具有可變掃描寬度的高精度高速多相矢量掃描儀。這是一個非常精確的設備,能夠達到+/-0.2 um的精度,用於特征尺寸控制。這種精確度使不同的光阻層之間的模式匹配更好,而且需要的調整級別要低得多。該系統還包括一個高頻光源，加上各種可定制的曝光控制參數。這使用戶能夠達到他們所需的精確切割精度和深度。此外，TRYMAX NEO-3000有一種劑量工具，可以根據用戶定義的參數精確控制暴露時間和劑量。NEO-3000還包括一套監控系統,用戶可以實時監控設備的性能,從而最大限度地減少任何容易出錯的做法。總體而言,TRYMAX NEO-3000是一臺先進的光刻機,旨在在光刻抗蝕層之間提供卓越的圖樣匹配,並且需要非常低的調整級別,以及高精度和可重復性。它是任何光刻應用的完美解決方案，需要精確的圖樣放置，復雜的圖樣匹配或特征尺寸控制。