二手 TUNG SHUNG 27MQ-E #194141 待售

TUNG SHUNG 27MQ-E是一種用於半導體加工的光刻膠系統。它旨在通過減少誤差和提高工藝質量來提高產量。該系統的工作原理是將一層光致抗蝕劑暴露在光源或其他輻射源之下，然後導致該層的組成或性質發生變化。27MQ-E利用高分辨率步進器來獲取和控制光線或輻射的暴露,從而實現精確的校準和控制。其集成的照明對準允許對光刻膠層上的曝光目標進行極其精確的成像。此外，TUNG SHUNG 27MQ-E的分辨率為800nm，可確保在光源或其他輻射源下的暴露具有高質量和準確性。27MQ-E還具有基板加熱能力，用於保證光敏效果的實現。這是通過在暴露於高達450°C的溫度下一分鐘之前提高基板的溫度來完成的。當基板達到設定點溫度時，光致抗蝕劑就會被曝光。除了錯綜復雜的硬體設置外，TUNG SHUNG 27MQ-E還有一個與硬體協同工作的軟體平臺，以進一步提升暴露於光刻膠層的結果。該軟件平臺允許靈活調度曝光和跟蹤結果，包括優化曝光時間、光強度、光刻膠流速等工藝參數。它還可以方便地回憶以前的結果，並為未來的過程創建新的配方。總體而言，27MQ-E光敏系統是現代半導體制造發展的絕佳工具。TUNG SHUNG 27MQ-E憑借其易於使用的硬件和強大的軟件平臺，確保了光致抗蝕劑工藝的精確度和精確度，從而提高了產率和工藝質量。