二手 ULTRA OPTICS Mini II #9259818 待售

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製造商
ULTRA OPTICS
模型
Mini II
ID: 9259818
Coater and cure oven.
ULTRA OPTICS Mini II是一款高性能光阻處理設備,旨在滿足半導體制造商和研究機構等高端用戶的需求。它配備了一種強大360W自動化的準分子激光器,能夠在廣泛的曝光波長範圍內進行精確的陣列設計。此外,基於光學的系統的高分辨率和穩定性允許對寬度和厚度不超過10 μ m的特征進行可重現的成像。可選的自動OPC模塊可用於復雜模式的設計、驗證和生產。Mini II利用一個專門的高分辨率棱鏡光學單元,在紫外線照射下產生照相面罩和原始圖案的均勻、單色圖像。包括精確的尺寸檢測器,這有助於機器保持穩定的曝光控制和最小化模式失真。用戶界面旨在方便直觀和易於使用,並為各種處理程序提供用戶手動和自動控制,從而能夠快速和最佳地安排曝光參數。此外,該工具還包括啟用配方的主/從模式,允許用戶重叠和比較不同的參數,記錄流程數據以進行質量分析和控制。最後,資產加載了一個非常直觀的軟件包,該軟件包為自動特征識別提供高級控制,並幫助用戶開發所需的流程。實時處理數據日誌記錄、模式識別和防止錯誤系統都包含在包中。總而言之,ULTRA OPTICS Mini II是一種用途廣泛、易於使用且質量高的光刻膠處理模型,可為用戶提供精確可靠的結果。它非常適合開發更復雜的流程,並為新用戶和經驗豐富的光刻膠用戶提供了一個用戶友好的界面。
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