二手 ULTRA OPTICS MR3 #293614892 待售

ULTRA OPTICS MR3是為大幅面應用的特殊需求而設計的光阻設備。它處理各種任務-清潔、塗層、曝光、開發和蝕刻-效率和可靠性都很高。該系統由多個模塊化組件組成，每個組件的設計都有特定用途。該單元的核心是一個精密步進/掃描儀平臺，它執行實際的光刻過程。其步進/掃描儀機構設計用於容納任何尺寸的基板，包括直徑可達300 mm的晶片。這樣可以確保所有尺寸和形狀的光掩模的精確曝光。然後將暴露的基材放入曝光後的烘烤加熱器中，並進行加熱，以確保光致抗蝕劑的粘合令人滿意。與傳統的熱粘結工藝相比，這種烤箱產生的光刻層的快速固化時間和一致的深度保證了更高的精度。然後將煮熟的底物轉移到顯影站，浸入硫酸溶液中。這一過程使未曝光的光刻膠從基板上自動去除，並揭示出所需的圖樣，可以進一步處理。而且集成蝕刻機能夠進行深蝕刻和幹蝕刻。該工具還包括一個用於清潔殘留光刻膠和其他材料基材的精密微調。該資產自帶工作流軟件，使用戶能夠創建多個作業設置並跟蹤光刻過程，以及定制曝光時間、曝光溫度和烘烤溫度等各種參數。綜上所述，MR3是一種具有高度精度和可靠性的先進光刻膠模型。它是完全自動化的，可以快速方便地處理各種基板，其集成的軟件有助於方便地為不同的應用量身定制過程。它提供了設備、組件和任何其他需要光刻工藝的產品的高質量生產。