二手 ULTRA OPTICS MR3 #9357168 待售

ULTRA OPTICS MR3是ULTRA OPTICS為在光刻工藝中達到極高分辨率而開發的光阻設備。該系統使用一種特殊配制的光刻膠材料，這種材料根據所需的圖樣有選擇地暴露在紫外線下。當受到紫外線照射時，光致抗蝕劑會發生物理和化學變化，從而形成浮雕圖像。MR3單元的主要優點是與多種材料的兼容性和高分辨率。該機能夠製造出寬度介乎6微米至75微米的單層圖案。此外,ULTRA OPTICS MR3工具能夠實現10納米的分辨率,從而能夠生產出非常小巧復雜的設計。MR3資產具有自動化的多層成像過程,以提供更大的設計可能性和更快的生產速度。首先，在晶片或設計區域的層中應用光刻膠，精確確定曝光時間。然後，機械臂將紫外線輻射施加到第一層。最後將光刻膠固化硬化。然後對設計的每一層重復此過程，允許快速高效地生成復雜的三維模式。此外,ULTRA OPTICS模型還具有可定制的曝光和固化參數,確保每個應用程序都完全適合手頭的任務。這些參數包括快門速度、光束大小、劑量和曝光時間，這些都可以調整以確保最佳性能。總體而言,ULTRA OPTICS MR3設備是一個用途廣泛、分辨率高且自動化的光刻系統,能夠通過精確的控制生成復雜的圖樣。因此,它是生產極其精確和復雜的設計的極其寶貴的資產。