二手 ULTRON SYSTEMS INC / USI Prism 350 #9092430 待售
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ID: 9092430
Selective coating system
PMP (Precision metering pump) liquid delivery system
Custom spray head
Custom liquid storage
Pumping and mixing.
ULTRON SYSTEMS INC/USI Prism 350是為所有光刻應用設計的先進、模塊化和經濟高效的光刻開發設備。此系統用於對晶片施加抗蝕劑,然後將其暴露在紫外線或可見光下。這使用戶能夠繪制抗蝕劑圖案,然後蝕刻掉晶片暴露在光下的部分。由於其精確的劑量精度和先進的自動化性能,該裝置在精確的抗蝕性塗層和細膩的抗蝕性圖案方面提供了卓越的性能。它有一個晶圓機器人,用於將一盒晶圓放在晶圓吊艙上,以及提供精確分配和沖洗時間的精密抽水機。晶圓可以通過接觸工具或接近工具暴露在光線下,然後集成的基板加熱確保了一致的抵抗發展過程。該工具還包含用於清潔過程的精密蒸餾和過濾水源,以及用於精密抗蝕塗層的集成薄膜邊緣,從而增強了環境保護。自動廢物處理資產的設計是為了減少顆粒產生,同時沖洗。用戶友好的圖形用戶界面進一步增強了功能,該界面提供了直觀的工作流和預測診斷。混合系統-包括接觸和接近-結合了觸摸屏技術,提高對準精度,擴大劑量範圍和額外的解決能力。USI Prism 350光刻膠開發模型在經濟高效的軟件包中提供了靈活性、性能和易用性。它提供可靠和高效的生產,具有高吞吐量和一致的產量。憑借其廣泛的功能和先進的自動化,此設備非常適合大批量生產過程以及在各種過程和應用中開發復雜、先進和精細的抗蝕劑。
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