二手 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 102-8 #9113171 待售

ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 102-8是專為提高半導體可制造性和產量而設計的高性能、全集成光阻處理設備。它配置了兩個功能強大的處理源和一個16位MicroH處理器。該系統采用前沿技術構建，集激光掃描和清洗於一體，最大限度地減少顆粒汙染，確保優越的效果。該單元允許整合多種工作流程和應用多種蝕刻技術。其主要特點是有源基板圖像穩定（ASIS）和為圖樣傳輸提供最高精度和可重復性的核心配準機。該工具還提供了出色的場均勻性、改進的陣列保真度、降低的平頂高度和減小的深度。整個封裝包括集成的光源、光學濾波器、激光快門、光束遮蔽、薄膜運動機構、狹縫機構和氣體輸送子系統。該資產還提供了廣泛的接觸源，從廣譜抵抗到先進光源。此外,USI UH 102-8還提供了多種選項,例如內部視圖端口、集成的潔凈室墻壁/設施、紫外線和激光源、手動/自動調整站、激光掃描模型和顯微點掩碼。自動薄膜和縫隙測量能力以及自動光束對準設備也確保了在各種應用中都能實現無錯誤曝光。ASIS機制自動校正小基板誤差（即使在亞微米狀態下也是如此），以確保準確的圖像放置。此外，高性能光學器件和激光掃描技術確保了所有曝光的快速高效圖像。總體而言,ULTRON SYSTEMS INC UH 102-8是一個出色的光刻膠處理系統,專為滿足先進的半導體可制造性和產量目標的要求而設計。其先進的系統和技術確保了模式傳輸的卓越性能和可靠性。單位的高端特點也保證了高精度、可重復、低傳播的效果。