二手 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 102-8 #9159218 待售

ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 102-8是為生產高解析度微芯片、薄膜電子器件和其他微電子元件而設計的先進光刻設備。該系統利用深紫外線（DUV）曝光光刻工藝，提供了高度精確的臨界尺寸（CD）控制。該單元配有大功率汞蒸氣DUV光源、步進/掃描儀單元和電源單元，以及晶片級和掩模對準組件。它還包括多通道光學對準機、晶圓級和控制器。該工具可以在整個晶片上保持均勻的抗蝕性模式，並提供出色的長期穩定性和過程可重復性。內置在USI UH 102-8資產中的高級光學器件提供了卓越的控制能力,尤其是在線路狹窄且接觸/通過尺寸較小的情況下。它的DUV源提供360nm-420nm的波長,確保根據特定的成像需求優化曝光水平。此外，封閉的晶片級以連續真空包圍成像區域，使氧化和放氣效應最小化。該模型的精密多軸機構設計用於支持盡可能小的CD成像設備的高速曝光。它的專有電源單元確保整個晶片的DUV曝光保持穩定和一致。此外，該設備還具有高級工藝自動化能力，包括故障、漂移和抖動補償。操作員還可以調整曝光源參數，下調至亞微米級，並進行自動過程監控和控制。總而言之，ULTRON SYSTEMS INC UH 102-8是一款先進的光阻系統，旨在滿足微電子制造的最高要求。它將精確的光學元件、自動化的特性和堅固的電源相結合,確保了以卓越的效率生產出最優質的元件。